2016年4月，寶力馬公司推出國內首款薄膜工藝的小體積溫濕敏元件，最小尺寸1.2mm*1.5mm，其快速響應特性及出色的超低溫度下濕度測量性能可以應用于氣象行業，有望改變在氣象等高端溫濕度測量領域依賴國外元件的現狀。
□ 特點
² 高分子薄膜電容式，集成薄膜工藝鉑電阻
² 陶瓷基片，薄膜工藝，MEMS制造工藝
² 響應速度快，穩定性好，耐環境性強，產能高
□ 技術指標
測量范圍：0%RH～100%RH
基礎容量：200pF±5%（在55%RH時）
工作溫度：-70℃～100℃
超小體積：1.2*1.5mm,通過邦定工藝可直接SMT焊接
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特性 |
最小 |
標準 |
最大 |
單位 |
備注 |
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基礎容量 |
180 |
200 |
220 |
pF |
@55%RH |
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靈敏度 |
0.4 |
0.5 |
0.6 |
pF/%RH |
10%RH～95%RH |
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濕滯 |
- |
±0.5 |
- |
%RH |
- |
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線性度 |
- |
±2 |
- |
%RH |
30%RH ～ 95%RH |
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響應時間 |
- |
﹤1 |
- |
Sec |
30%RH ～ 90%RH |
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溫度系數 |
0.02 |
0.03 |
0.04 |
pF/℃ |
10℃ ～ 40℃ （50℉～ 104℉）@50%RH |
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長期穩定性 |
- |
﹤1 |
- |
%RH/年 |
- |
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工作溫度 |
-60 |
- |
120[248] |
℃ |
- |
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工作濕度 |
0 |
- |
100 |
%RH |
- |
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工作頻率 |
1 |
- |
100 |
Khz |
- |
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